云联丰带你了解硅烷的用途有哪些

　　云联丰带你了解硅烷的用途有哪些

　　硅烷早期实用化和应用量大的是作为生产高纯度硅的中间产物，一般称为硅烷法。历来生产高纯度硅的主要方法是三氯氢硅法（西门子法）。

　　硅烷的又一应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比非晶硅的特点是容易形成极薄的(厚度10nm左右)大面积器件，衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料，表面可以是平面也可是曲面，因此可以制成各种性能优异的器件。

　　硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的主要的特种气体,用于各种微电子薄膜制备,包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展:低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件（砷化镓、碳化硅等）。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极 大，***的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。

　　硅烷作为含硅薄膜和涂层的应用已从传统的微电子产业扩展到钢铁、机械、化工和光学等各个领域。含硅涂层可使普通钢的高温耐氧化能力提高到10万倍以上,也可使其它金属的高温化学稳定性大大改善，使内燃机叶片的耐蚀性明显增强，使各种材料和零件之间的粘结强度大幅度提高，使汽车发动机零件的寿命延长，也可改变玻璃的反射和透射性能，从而得到显著的节能和装饰效果。在浮法玻璃生产过程中用硅烷在玻璃表面涂敷硅烷早实用化和应用量大的是作为生产高纯度硅的中间产物，一般称为硅烷法。历来生产高纯度硅的主要方法是三氯氢硅法（西门子法）。

　　硅烷的又一应用是非晶半导体非晶硅。与单晶半导体材料相比非晶硅的特点是容易形成极薄的(厚度10nm左右)大面积器件，衬底可以是玻璃、不锈钢、甚至塑料，表面可以是平面也可是曲面，因此可以制成各种性能优异的器件。

　　硅烷已成为半导体微电子工艺中使用的主要的特种气体,用于各种微电子薄膜制备,包括单晶膜、微晶、多晶、氧化硅、氮化硅、金属硅化物等。硅烷的微电子应用还在向纵深发展:低温外延、选择外延、异质外延。不仅用于硅器件和硅集成电路，也用于化合物半导体器件（砷化镓、碳化硅等）。在超晶格量子阱材料制备中也有应用。可以说现代几乎所有的集成电路的生产线都需用到硅烷。硅烷的纯度对器件性能和成品率关系极 大，更高 级的器件需要更高纯度的硅烷(包括乙硅烷、丙硅烷)。